半導體晶圓制造廠(chǎng)內AMHS( 自動(dòng)物料搬送系統 - AMHS Automatic Material Handling System)的搬送一般分為Interbay和Intrabay。
捷螺系統針對AMHS通過(guò)AMR機器人來(lái)解決整廠(chǎng)的物料傳輸,即晶圓純運輸機器人負責Interbay,作為工序區間搬送系統;復合型手臂機器人負責Intrabay傳輸及對接機臺作業(yè)。兩者可相互對接協(xié)作,應用于工序區間或工廠(chǎng)間運輸。更加全面實(shí)現全廠(chǎng)物料自動(dòng)搬運。