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【視頻】晶圓生產(chǎn)線(xiàn)多類(lèi)型AMR協(xié)作應用實(shí)例

日期:2022-01-05     來(lái)源:捷螺系統    瀏覽:1465    
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核心提示:捷螺系統針對AMHS通過(guò)AMR機器人來(lái)解決整廠(chǎng)的物料傳輸。

半導體晶圓制造廠(chǎng)內AMHS( 自動(dòng)物料搬送系統 - AMHS Automatic Material Handling System)的搬送一般分為Interbay和Intrabay。

捷螺系統針對AMHS通過(guò)AMR機器人來(lái)解決整廠(chǎng)的物料傳輸,即晶圓純運輸機器人負責Interbay,作為工序區間搬送系統;復合型手臂機器人負責Intrabay傳輸及對接機臺作業(yè)。兩者可相互對接協(xié)作,應用于工序區間或工廠(chǎng)間運輸。更加全面實(shí)現全廠(chǎng)物料自動(dòng)搬運。

 

 
標簽: 晶圓 捷螺 AMR
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