晶圓廠(chǎng)是使用自動(dòng)化材料處理系統（AMHS）的自動(dòng)化工廠(chǎng)。廣泛使用高架式芯片運輸車(chē)(OHT)系統將8/12" wafer box (open cassette/FOUP)從一組設備運送到另一組。
AMHS的搬送一般分為Interbay和Intrabay，OHS負責Interbay，作為工序區間搬送系統；而OHT+AMR 負責Intrabay，目前不僅應用于工序區內部運輸，也應用于工序區間或工廠(chǎng)間運輸。
要實(shí)現全廠(chǎng)OHT覆蓋，AMHS系統的成本會(huì )非常高,（簡(jiǎn)單估算下來(lái)，一條8英寸的AMHS大概在10M$,而12英寸的AMHS大概在30M$左右。）在當前中國大陸的FAB廠(chǎng)中，使用OHT的FAB廠(chǎng)屈指可數。這也對廠(chǎng)內IE規劃也是個(gè)極大的考驗。
為此，捷螺系統專(zhuān)攻半導體晶圓搬運機器人，配合FAB廠(chǎng)OHT協(xié)作，即空中OHT搭配地面AMR，更加全面實(shí)現全廠(chǎng)物料自動(dòng)搬運， 綜合性?xún)r(jià)比也相對較高。目前，Gyrobot已與多家OHT廠(chǎng)家（Muratec、Mirle等），實(shí)現FAB車(chē)間對接協(xié)作，為半導體工廠(chǎng)自動(dòng)化生產(chǎn)提升更高效率。
OHT天車(chē)負責空中軌道高速傳輸作業(yè)，地面上由AMR來(lái)實(shí)現高彈性效率作業(yè)，實(shí)現由STOCKER、OHT、AMR、EQ間 無(wú)死角無(wú)盲區對接 ，真正實(shí)現FAB車(chē)間無(wú)人化自動(dòng)生產(chǎn)。
