案例一：新松某半導體企業(yè)復合移動(dòng)機器人項目
（1）項目描述
某半導體企業(yè)從2015年開(kāi)始陸續應用了沈陽(yáng)新松機器人自動(dòng)化股份有限公司的復合移動(dòng)機器人，復合移動(dòng)機器人分別應用于工廠(chǎng)的加工和物流區域，主要用于半導體材料的搬運，通過(guò)機器手臂將物料自動(dòng)抓取到各加工設備中，來(lái)實(shí)現物料的自動(dòng)轉運。移動(dòng)機器人本體及協(xié)作手臂均由新松機器人公司提供。
圖：新松復合移動(dòng)機器人
（2）難點(diǎn)及創(chuàng )新點(diǎn)
1、采用激光slam導航技術(shù)停車(chē)定位精度±10mm；
2、機器臂末端采用3D視覺(jué)補償，定位精度±0.5mm ；
3、車(chē)間為潔凈環(huán)境，設備潔凈等級滿(mǎn)足Class 100；
4、自動(dòng)更換電池技術(shù)，復合移動(dòng)機器人可連續24小時(shí)運行，滿(mǎn)足用戶(hù)7x24小時(shí)不間斷工作；
5、復合移動(dòng)機器人運貨量大，機械臂最大負載20KG，移動(dòng)機器人最大負載200KG，綜合性?xún)r(jià)比高；
6、機械臂自動(dòng)更換夾爪，可以搬運多種物料；
7、走行速度60m/min無(wú)級變速；
8、為了滿(mǎn)足不同物料機械臂臂展加長(cháng)，同時(shí)巷道寬度的限制移動(dòng)機器人寬度受限，考慮了復合移動(dòng)機器人的重心及穩定性設計。
（3）效益或影響
復合移動(dòng)機器人推出當年，就成功地將其應用到某企業(yè)的數字化智能工廠(chǎng)中，在該行業(yè)內起到一定示范作用的同時(shí)也積累了復合移動(dòng)機器人的應用經(jīng)驗。復合移動(dòng)機器人是新松公司最早應用在半導體行業(yè)的，也推動(dòng)了這一行業(yè)應用復合移動(dòng)機器人的認可和使用。采用復合移動(dòng)機器人搬運方式可大大減少車(chē)間人員數量（減少約80%）、大大減少搬運次數（調度系統優(yōu)化最優(yōu)配送方案），提高作業(yè)準確率200%。尤其在新冠疫情期間，其他企業(yè)面臨人員不能正常到崗情況下，復合移動(dòng)機器人卻可在客戶(hù)的工廠(chǎng)里24小時(shí)穿梭，有效的保證了用戶(hù)的生產(chǎn)效率和經(jīng)濟效益。
案例二：優(yōu)艾智合晶圓盒搬運機器人項目
（1）項目描述
某全球領(lǐng)先半導體晶圓廠(chǎng)為解決每日繁重的SMIF POD上下機臺任務(wù)，引入YOUIBOT智能物流解決方案，通過(guò)3臺優(yōu)艾智合晶圓盒搬運機器人，搭載YOUIFLEET調度管理系統和YOUITMS物流管控系統，完成機臺與電子料架之間的自動(dòng)化上下料和車(chē)間物流數據全流程精細化管理，實(shí)現晶圓車(chē)間柔性化智能化生產(chǎn)。
圖：晶圓盒搬運機器人OW8在半導體車(chē)間應用
（2）難點(diǎn)及創(chuàng )新點(diǎn)
技術(shù)難點(diǎn)：
1、視覺(jué)定位精度要求±1mm。
2、高頻次轉運需求對節拍要求嚴苛，人工一次只能搬一個(gè)晶圓盒，晶圓盒搬運機器人一次最多可搬運8個(gè)晶圓盒。
3、震動(dòng)容易對晶圓產(chǎn)生裂紋，晶圓搬運過(guò)程對震動(dòng)要求極其嚴格，晶圓盒搬運機器人在作業(yè)時(shí)穩定運輸狀態(tài)振動(dòng)均值遠小于 0.1G。
創(chuàng )新點(diǎn)：
1、市面普遍機器人最多設有4儲位，部分工藝晶圓流轉需求達到6個(gè)SMIF Pod，無(wú)法滿(mǎn)足工藝需求，OW8晶圓盒搬運機器人擁有目前業(yè)界最多的儲位，設有8儲位以及料位智能化管理，滿(mǎn)足所有工藝晶圓流轉需求。
2、可取放300-2300mm，目前業(yè)界最高晶圓盒上下料作業(yè)高度和最低作業(yè)高度優(yōu)勢，提高FAB的空間利用率。
3、人工維修高架地板會(huì )產(chǎn)生坑洞，晶圓盒搬運機器人自帶檢測坑洼的傳感器，防止跌入。
4、打通不同工藝流程之間物質(zhì)流和信息流，生產(chǎn)物流數據全流程可追溯，實(shí)現車(chē)間生產(chǎn)可視化和生產(chǎn)過(guò)程運營(yíng)管控。
（3）效益或影響
半導體生產(chǎn)車(chē)間潔凈等級高、布局復雜、空間狹小、設備種類(lèi)繁多，優(yōu)艾智合通過(guò)移動(dòng)機器人多機協(xié)同打通離散生產(chǎn)環(huán)節，高效助力企業(yè)柔性生產(chǎn)。同時(shí)，利用移動(dòng)操作機器人實(shí)現工藝設備間的自動(dòng)傳送、存儲及分發(fā)，打通制程中的復雜工序，有效提升設備稼動(dòng)率、降低人工錯誤發(fā)生率。做到0輻射，避免人工搬運方式存在的人體輻射傷害風(fēng)險；0污染，減小無(wú)塵車(chē)間污染帶來(lái)的風(fēng)險，提升良品率；震動(dòng)小，避免人工搬運帶來(lái)的損壞問(wèn)題，降低50%震動(dòng)風(fēng)險；提效，減少操作員30%無(wú)效行走；提升空間利用率，提高電子料架利用率66%。
案例三：達明復合移動(dòng)機器人晶圓盒上下料項目
（1）項目描述
某著(zhù)名半導體工廠(chǎng)應用了達明復合移動(dòng)機器人-TM12M進(jìn)行晶圓盒上下料，基于激光SLAM的混合定位導航技術(shù)，實(shí)現室內 ±5mm的重復定位精度，有效對接各種設備；導入TM landmark 專(zhuān)利應用，復合機器到位后，達明機器人通過(guò)自帶視覺(jué)完成晶圓盒的高精度上下料。
圖：達明復合移動(dòng)機器人應用于晶圓盒上下料
（2）難點(diǎn)及創(chuàng )新點(diǎn)
1、導入達明自帶視覺(jué)協(xié)作機器手臂-TM12M及TM landmark 后，復合移動(dòng)機器人也可輕松應用在高精精度作業(yè)站別, 并且也可以十分輕松地完成調試及復制；
2、空間定位精度±0.5mm ( AGV 定位精度±5mm ; 通過(guò)TMvision + TM Landmark,將空間定位精度做到±0.5mm以?xún)?/font>)
3、達明機器人通過(guò)Eye in Hand / New base (Golden Port) 快速教點(diǎn)，輕松地完成調試及復制；
4、更簡(jiǎn)易的部署：自動(dòng)構建地圖，無(wú)需場(chǎng)景改造。具備多種應用模塊與通用標準接口，直接對接企業(yè) MES / WMS 信息系統，無(wú)需定制開(kāi)發(fā)；
5、更智能的控制：最新一代移動(dòng)機器人分布式控制系統，機器人單機作業(yè)與多機調度切換自如；
6、更平穩的移動(dòng)：采用6輪懸掛系統，過(guò)縫過(guò)坎平穩順滑，減輕振動(dòng)；自動(dòng)均衡負載，移動(dòng)更加平穩。
7、更安全的防護: 搭載兩顆安全激光雷達，覆蓋機器人360°無(wú)死角；
8、更強大的調度: 智能劃分作業(yè)場(chǎng)景，不同場(chǎng)景下自動(dòng)切換工作模式，動(dòng)態(tài)任務(wù)分配、智能交通管制、同場(chǎng)景多機調度，支持100臺機器人的實(shí)時(shí)監控與調度；
9、更持久的工作: 每一臺機器人都支持自動(dòng)充電、手動(dòng)充電與快速換電，最快30s即可讓機器人重新回到工作站點(diǎn)，保證24小時(shí)連續運行與快速響應；
（3）效益或影響
為客人打造專(zhuān)屬的智能設備, 創(chuàng )造共生互利的競爭優(yōu)勢，制造效能的提升或是制造良率的提升，對整個(gè)的制造業(yè)有一個(gè)很正面的一個(gè)效益，并且得到客戶(hù)的肯定，為客人帶來(lái)智慧物流專(zhuān)案，幫助合作伙伴節省人力，并共同邁進(jìn)關(guān)燈智能工廠(chǎng)。
案例四：迦智科技國內知名半導體晶圓生產(chǎn)企業(yè)內部智能物流搬運項目
（1）項目描述
項目用戶(hù)是國內知名的半導體晶圓生產(chǎn)企業(yè)，面對市場(chǎng)柔性化的生產(chǎn)需求，亟需提升廠(chǎng)內物料搬運的靈活性和穩定性。
迦智科技為其提供了涵蓋數臺復合移動(dòng)作業(yè)機器人、EMMA400舉升車(chē)、EMMA400升降輥筒車(chē)以及自動(dòng)充電樁、服務(wù)器、調度系統 CLOUDIA等在內的整套智能物流解決方案，高效解決了生產(chǎn)原料、半成品等在晶圓生產(chǎn)線(xiàn)各工序設備間的自動(dòng)化流轉和上下料，大幅提升了生產(chǎn)效率。
圖：迦智科技復合移動(dòng)機器人
（2）難點(diǎn)及創(chuàng )新點(diǎn)
1、無(wú)塵潔凈室空間高效作業(yè)：迦智科技的自然導航AMR滿(mǎn)足百級無(wú)塵車(chē)間的作業(yè)環(huán)境標準，無(wú)需提前改造，即可快速部署應用于現有產(chǎn)線(xiàn)中，并可隨時(shí)滿(mǎn)足用戶(hù)產(chǎn)線(xiàn)優(yōu)化調整需要，減少二次投入成本；
2、全程無(wú)人參與，安全穩定運輸：針對半導體行業(yè)物料易碎易損的特性，迦智全柔性自然導航AMR底盤(pán)+協(xié)作機械臂的智能集成，采用自研的激光SLAM融合導航技術(shù)，路徑規劃靈活，環(huán)境適應力強，支持多機協(xié)作、人機協(xié)作，智能停避障，保障了物料配送的及時(shí)安全性，所有物流信息通過(guò)可視化的實(shí)時(shí)管理一目了然；
3、實(shí)現對半導體精密元件的精準抓取、放置，滿(mǎn)足產(chǎn)品良率要求：通過(guò)視覺(jué)輔助技術(shù)和機械臂伺服運動(dòng)規劃，成功達到了用戶(hù)需求的1mm 級高精度對接要求，確保物料轉運安全穩定，非常適用于3C、泛半導體領(lǐng)域等高精密度作業(yè)需要。
（3）效益或影響
項目成功實(shí)施后，充分滿(mǎn)足了用戶(hù)的排產(chǎn)需求，助力產(chǎn)線(xiàn)提高生產(chǎn)效率，有效降低人力成本，增強企業(yè)柔性生產(chǎn)能力。
案例五：優(yōu)艾智合彈夾轉運機器人OM-T12
（1）項目描述
針對某被動(dòng)元器件國內龍頭企業(yè)，優(yōu)艾智合助力該企業(yè)實(shí)現黃光一體化車(chē)間自動(dòng)化升級改造，實(shí)現黃光車(chē)間印刷、曝光、顯影三大工序機臺的自動(dòng)化上下料以及工序機臺間的物料轉運，解決現有員工上料不及時(shí)、上錯料、信息跟蹤困難的問(wèn)題。
物料轉運系統由YOUITMS物流管理系統、YOUIFLEET調度系統和移動(dòng)操作機器人組成；YOUITMS物流管理系統對接客戶(hù)MES系統，獲取生產(chǎn)訂單進(jìn)行排程調度，并將合并后的訂單下發(fā)給YOUIFLEET調度系統，YOUIFLEET調度移動(dòng)操作機器人，移動(dòng)機器人本體設有多個(gè)料藍（生產(chǎn)物料載體）緩存位，完成物料的轉運及自動(dòng)上下料。
圖：優(yōu)艾智合彈夾轉運機器人OM-T12在半導體分立器件車(chē)間應用
（2）難點(diǎn)及創(chuàng )新點(diǎn)
技術(shù)難點(diǎn)：
1、客戶(hù)車(chē)間均為緊湊型車(chē)間，復合協(xié)作機器人需在1100mm的過(guò)道中上下料。
2、客戶(hù)的機臺上下料位置很低且空間狹小，通過(guò)末端執行機構的特殊結構設計解決了此問(wèn)題。
3、機臺對于上下料的精度有嚴格要求。
創(chuàng )新點(diǎn)：
1、移動(dòng)操作機器人對物料上的識別碼進(jìn)行確認與記錄，業(yè)務(wù)系統可通過(guò)看板跟蹤物料流轉信息；
2、移動(dòng)操作機器人可輕松通過(guò)半導體車(chē)間內的窄小過(guò)道，再通過(guò)YOUIFLEET調度系統使移動(dòng)操作機器人不會(huì )在過(guò)道形成擁堵，多臺機器人根據不同業(yè)務(wù)需求協(xié)同配合；
3、移動(dòng)操作機器人高精度定位與機械臂上的視覺(jué)補償支持自動(dòng)化上下料對接，YOUITMS對接客戶(hù)的MES系統，接受任務(wù)訂單，傳遞物料運轉信息；
4、數據分析，實(shí)時(shí)反饋生產(chǎn)物流數據；
5、在智能移動(dòng)機器人系統實(shí)踐過(guò)程中,巧妙利用工業(yè)相機、傳感器和智能化決策系統等多種關(guān)鍵技術(shù)優(yōu)勢,使得機器人具有更多智能范圍的能力。這一創(chuàng )新應用幫助更多制造企業(yè)實(shí)現“智造”升級；
（3）效益或影響
大大降低工人的工作強度，減少操作人員30%無(wú)效行走;打通各個(gè)環(huán)節的物料交接信息流,省去了大量人工交接時(shí)的紙質(zhì)單據；減少人工作業(yè)，實(shí)現自動(dòng)化上下料，提高生產(chǎn)效率33%，提升產(chǎn)品良率78%;實(shí)時(shí)反饋生產(chǎn)數據，提高信息透明度，降低機臺出錯率。節約白班+夜班勞動(dòng)力節工20人；投資回報率：回本周期1.6年。
